Physik Instrumente
PIFOC®1 軸対物レンズスキャナー
大型対物レンズの高ダイナミックピエゾZスキャナー。静電容量センサーによるダイレク…
サブナノメートルの分解能!多軸ステージ
PIShift ピエゾモーターを備えたリニアアクチュエータ・低価格で高性能!
高サイクルでも安定性の高いアクチュエータ!センター開口部により透過光アプリケーシ…
高精度・低コスト・小型ロングストロークのPI社HERAシリーズ
NEXLINE® PiezoWalk®ドライブによるロングストロークと高分解能、…
長寿命アクチュエータ!サブミリセカンド応答・サブナノメートルの分解能
装置構造を見直し、以前より高剛性でロングレンジ駆動を可能にしました。
高出力・超高剛性!ダイナミックアプリケーションに最適のアクチュエータ
高 い平面度と真直度が要求される位置決めに最適!Z軸ピエゾステージ
66×66mmのセンター開口部は光透過式アプリケーションに最適!最大6軸のカスタ…
静電容量センサーによる高リニアリティステージ
静電容量センサーによる高リニアリティピエゾステージ
多軸・精密制御に最適!1~3軸タイプあり・開口付ピエゾステージ
44x44mmのコンパクト設計でナノメートルの精度!超高性能小型ステージ
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