P-753 ｜ LISA高速ピエゾステージ

LISA高速ピエゾステージ Product Description

静電容量センサーによる高リニアリティステージ

P-753 LISA（リニアステージアクチュエータ）高速ピエゾステージはリニアアクチュエータ、およびステージの両方としてご使用頂けます。このP-753 LISAは静電容量フィードバックセンサー、摩擦の無いフレクシャガイドシステム、および高性能ピエゾ駆動（PICMA®）を搭載しており、最大ストロークが38μm、整定時間が短く、直進性が非常に高いことが大きな特徴です。

Main Usage

● ディスクドライブ検査
● 各種計測
● ナノポジショニング
● 走査型顕微鏡
● フォトニクス／光集積回路
● 干渉計
● バイオテクノロジー
● マイクロマニピュレーション