小型ロングストロークステージ・HERAシリーズ Sales Info
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高精度・低コスト・小型ロングストロークのPI社HERAシリーズ
PIHera®システムは。ロングストロークで、サイズは極めてコンパクト、高速応答とガイド精度の高さが特徴です。これらの特徴とロングストロークは、摩擦のない、非常に剛性の高いフレクシャシステムだからこそ得られるものです。PIHera®ピエゾナノポジショニングシリーズには、ZおよびXYステージもあります。
Main Usage
● 干渉計
● 顕微鏡による検査
● ナノポジショニング
● バイオテクノロジー
● 品質保証試験
● 半導体技術
小型ロングストロークステージ・HERAシリーズ Details
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