P-561 ｜ PIMars™ XYZ軸開口部付ピエゾステージ

66×66mmのセンター開口部は光透過式アプリケーションに最適！最大６軸のカスタマイズも可能！

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PIMars™ XYZ軸開口部付ピエゾステージ Sales Info

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PIMars™ XYZ軸開口部付ピエゾステージ Product Description

66×66mmのセンター開口部は光透過式アプリケーションに最適！最大６軸のカスタマイズも可能！

PIMars™ピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステムで、ナノメートルレンジの平坦度と直進度を誇ります。66×66mmのセンター開口部は、ニアフィールド走査／共焦点顕微鏡やマスク位置決めなどの、光透過式アプリケーションに最適です。

Main Usage

● 走査型顕微鏡
● マスク／ウェハー位置決め
● 干渉計
● 各種計測
● バイオテクノロジー
● マイクロマニピュレーション