テルモセラ・ジャパン メーカー公式情報
小型実験装置シリーズ。モジュール組込み式の為都度必要な膜種に応じた専用機の組立が可能。様々な研究用途に対応可能な小型実験装置。
小型実験装置シリーズ。モジュール組込み式の為都度必要な膜種に応じた専用機の組立が可能。様々な研究用途に対応可能な小型実験装置。
MiniLab R&D用実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて都度好適なコンポーネント(成膜源、ステージなど)、制御モジュールを組み込むことにより、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で搭載することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロセス実験への応用が可能になります。
MiniLabシリーズは、研究開発から小規模生産用途まで幅広く対応するハイコストパフォーマンスシステムです。
【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置 構成モジュール】
抵抗加熱蒸着(TE)、有機膜蒸着(LTE)、電子ビーム蒸着(EB)、RF/DCスパッタリング(SP)、熱CVD、プラズマCVD、ドライエッチング、HiPIMS大電力パルススパッタリング、他
この製品の利用用途
大学・研究機関での真空薄膜実験、開発用途
・真空薄膜、電子基板デバイス用薄膜実験
・金属膜(Al, Au, Ag, Pt, Ti, *Ni, *Fe, Mo, Sn, etc..)
・絶縁膜 酸化膜 窒化膜(SiO2, ITO, TiN, MgO, HfO2, ZnO, etc.)
「フレキシブルな装置構成」モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能。様々な研究用途に対応可能な小型薄膜実験装置。
MiniLab R&D用実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント(成膜源、ステージなど)、制御モジュールを組み込むことにより、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で搭載することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロセス実験への応用が可能になります。
MiniLabシリーズは、研究開発から小規模生産用途まで幅広く対応するハイコストパフォーマンスシステムです。
抵抗加熱蒸着 TE
TE1ボックス型抵抗加熱蒸着源
タングステンフィラメントは、ボート、ヘリカルコイル、バスケット、ロッドなどほぼ全ての形状のフィラメントに対応、着脱も容易。
ボックスシールド開口部で指向性が得られ、基板へ効率的な蒸着をすることができます。
有機蒸着源 LTE
LTE1有機蒸着源 Max600℃
石英製、アルミナ製るつぼ 1cc容積(*5ccるつぼオプション)
高精度で蒸着温度を制御、昇温時の応答性にも優れます。水晶膜厚モニタとの組み合わせでPIDループ自動制御時約±0.1Åの膜厚制御が可能です。
マグネトロンスパッタリングカソード
高真空対応、メンテナンス性に優れたマグネトロンカソード
カソードシールドとクランプリングの着脱でターゲット交換が簡単に行えます。
ストレートタイプ、フランジタイプ、傾斜ヘッドタイプなど種類も豊富。
・RF、DC、PulseDC兼用
・ターゲットサイズ:Φ2inch、Φ3inch、Φ4inch
「豊富なオプション」
・磁性材料用高強度マグネットパック
・チムニーポート
・ガスインジェクション
・シャッター
「IntelliDep(インテリデップ)」:多彩な成膜管理プログラム・パワフルな装置コントロールソフトウエア
装置の全ての操作を一箇所のHMIで行えるパワフルな制御・管理ソフトウエア「IntelliDep(インテリデップ)」
直感的操作で短期間でどなたでもマスター可能。
・マニュアル運転/オートモード運転
・レシピ作成管理〜オート運転
・ログ保存、故障解析
・シャッター自動開閉
HMI 7inchタッチパネル(標準)、オプションでWindows PC操作 キーボード+マウス+20"モニタも選べます。
PC操作の場合、Windows PC操作に必要な「IntelliNet」がオンボードで付属します。
豊富なプロセス内コンポーネントオプション
成膜均一性、膜質を犠牲にせず小さなチャンバー内に多彩なコンポーネントを配置することができます。
基板シャッター
ソースシャッター
基板加熱ヒーター
クロスコンタミシールド
水晶振動子膜厚センサーヘッド
SMX基板・マスクチェンジャー(080のみ)
グローブボックス連結型(MiniLab-026, -090のみ)
グローブボックス作業エリア内でチャンバー開閉が可能。
MiniLab-026、-090のみグローブボックス仕様チャンバーオプションがあります。
グローブボックスワークエリア内でMiniLabチャンバーにアクセスすることができ、成膜→スピンコート→ベーク、などの一連の作業をシームレスに行うことができます。
豊富なオプション・優れた拡張性
・ロードロック
・APCプロセス自動コントロール(Upstream制御、又はDownstream制御)
・同時成膜
・HiPIMS
・自動成膜コントロール(フルオート制御)
MiniLabシリーズ紹介動画
写真 | 型式 | 型式名/説明 | 最安値 | 販売元 |
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MINILAB-026 |
MiniLab-026 フレキシブル薄膜実験装置
MiniLab-026は、シリーズ最小の26L容積チャンバを使用した小型薄膜実験装置です。 必要最… (型式詳細を見る) |
- | この型式の販売元は登録されていません |
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MINILAB-060 |
MiniLab-060 フレキシブル薄膜実験装置
コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置 下記蒸着源から組合せが可能 ・抵抗加熱蒸着源 … (型式詳細を見る) |
- | この型式の販売元は登録されていません |
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MINILAB-080 |
MiniLab-080 フレキシブル薄膜実験装置
80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-0… (型式詳細を見る) |
- | この型式の販売元は登録されていません |
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MINILAB-090 |
MiniLab-090 フレキシブル薄膜実験装置
80ℓ大容積MiniLab-080チャンバーをグローブボックスベンチ内に収納可能な構造にしたMini… (型式詳細を見る) |
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MINILAB-GB |
【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置
OLED(有機EL), OPV(有機薄膜太陽電池), OTFT(有機薄膜太陽電池), 又, グラフェ… (型式詳細を見る) |
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MINILAB-026 - この型式の販売元は登録されていません |
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MINILAB-060 - この型式の販売元は登録されていません |
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MINILAB-080 - この型式の販売元は登録されていません |
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MINILAB-090 - この型式の販売元は登録されていません |
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MINILAB-GB - この型式の販売元は登録されていません |