MINILAB-GB ｜ 【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置の製品概要

蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。

OLED（有機EL）, OPV（有機薄膜太陽電池）, OTFT（有機薄膜太陽電池）, 又, グラフェン・2D材料（遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次元層状無機ナノ材料）などの成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。
MiniLab-026/00-GBでは、PCD/CVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省スペース環境で実現。

【特徴】
◉ CVD/PVD成膜、スピンコート塗布・ホットプレートベーキングなど一連の作業を外気に晒すことなく、GB内でシームレスに行うことができます。
◉ 省スペース：背面にチャンバーがせり出しませんので、スペースを取りません。
【MiniLab対象】
◉ MiniLab-026（26ℓ容積）：金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリリング、RF/DCエッチング、アニール
◉ MiniLab-090（90ℓ容積）：金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリング、RF/DCエッチング、アニール

【GB対応 MiniLab-026/090主仕様】
◉ チャンバ：SUS製（*090はスライドドア式, 背面メンテナンスドア）
◉ 19inch制御ラックは作業ベンチ下に収納
◉ MLチャンバー内成膜モジュール：
・抵抗加熱蒸着源（最大4源）
・有機蒸着源（最大4源）
・Φ2"マグネトロン（最大3基）
・RF/DCエッチング（最大Φ6inchステージ）
・基板加熱ステージ（最大Φ6inchステージ）などを搭載
◉ 高精度膜厚制御
◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ（クライオポンプ, ドライポンプオプション）
◉ 豊富なオプション

＊その他の詳細仕様は当社へお問い合わせ下さい。

この製品の利用用途

OLED（有機EL）
OPV（有機薄膜太陽電池）
OTFT（有機薄膜太陽電池）
グラフェン
2D材料（遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次元層状無機ナノ材料）
他