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Physik Instrumente

H-811 | PI社製 高速・高精度の小型ヘキサポッド

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コンパクト・高剛性・10- 6hPa までの真空対応可能

レーザーテック

ECCS B320 | 電気化学反応可視化コンフォーカルシステム

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リチウムイオン電池の充放電中の電気化学反応をIn-situで可視化/定量化

レーザーテック

MATRICS X810シリーズ

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シリーズ: マスク欠陥検査装置

レーザーテック

TSS20

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シリーズ: 塗工ムラスキャニングシステム

レーザーテック

WASAVIシリーズ MR300

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シリーズ: 膜厚ムラ検査装置

レーザーテック

EZ300

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シリーズ: ウェハエッジ検査装置

レーザーテック

MRS248

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シリーズ: DUVマスクレビューステーション

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