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ペリクル/フォトマスク異物検査装置
製品概要・特長
型式一覧(1)
詳細情報
ペリクル/フォトマスク異物検査装置の製品概要
90nmノード以降のフォトマスクに対応する高速・高感度の異物検査装置
ペリクル/フォトマスク異物検査装置の 型式一覧
(1件)
写真
型式
型式名/説明
最安値
販売元
PEGSIS P100
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PEGSIS P100
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ペリクル/フォトマスク異物検査装置の詳細情報
メーカー
レーザーテック
登録カテゴリ
製造加工機械
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