C-MOSレーザ変位センサ
CD33シリーズ
コストハーフを実現する組込用レーザ変位センサ
コンパクトかつローコストで、機器組み込み用途、判別用途に適したアンプ内蔵レーザ変位センサ。三菱電機MELSEC-Qシリーズ専用変位センサコントロールユニットUQ1-02対応の16機種を追加ラインナップ(デジタル出力タイプ)。
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鏡面体や透明体の測定用に正反射型をラインナップに追加
ワークがガラス等の透明体の場合やウェハ等の鏡面体でも測定が可能な正反射型を新たにラインナップ。拡散反射型では測定が困難な透明体・鏡面体でも、安定した測定が可能になりました。
・アプリケーション:
マスク高さ制御とガラス基板厚み測定
正反射型の変位センサCD33-L30で、マスクの高さを制御するとともにガラスの厚みを測定します。マスクまでの距離を3点測定し最適な高さに調整、その後ガラス基板がその上を通過するときに厚みを測定します。透明度の高いガラス基板なら変位センサ2台で挟み込んで測定しなくても安定した厚み測定が可能です。
三菱電機シーケンサに直接つながる
三菱電機MELSEC-Qシリーズに接続できる変位センサコントロールユニットUQ1-02誕生！通信設定が一切不要な上、専用ソフトウェア「UQ1 Navigator」により、誰でもカンタンに短時間で設定することが可能です。※CD33シリーズのRS-422タイプで使用可。
| 主な用途 | ・基板の反り測定 ・実装部品の高さ測定 ・ゴムシートの継ぎ目検出 ・建材ボードの厚み測定 ・マスク高さ制御とガラス基板厚み測定(正反射型) ・露光装置露光ヘッドZ軸制御(正反射型) |
|---|---|
| URL | http://www.optex-fa.jp/products/dsp_sensor/cd33/ |
| 測定範囲 | CD33-30□□□:30±4mm(F.S.8mm,リニアリティ:±0.1％F.S.) CD33-50□□□:50±10mm(F.S.20mm,リニアリティ:±0.1％F.S.) CD33-85□□□:85±20mm(F.S.40mm,リニアリティ:±0.1％F.S.) CD33-120□□□:120±60mm(F.S.120mm,リニアリティ:±0.1％F.S.) CD33-250□□□:250±150mm(F.S.300mm,リニアリティ:±0.1％F.S.) |
| 光源 | 赤色半導体レーザ(波長:655nm 最大出力:1mW) |
| スポットサイズ | CD33-30□□□:0.1×0.1mm CD33-50□□□:0.5×1.0mm CD33-85□□□:0.75×1.25mm CD33-120□□□:1.0×1.5mm CD33-250□□□:1.75×3.5mm |
| 繰返精度 | CD33-30□□□:2μm(応答時間:Fast時のみ4μm) CD33-50□□□:5μm(応答時間:Fast時のみ8μm) CD33-85□□□:10μm(応答時間:Fast時のみ15μm) CD33-120□□□:30μm(応答時間:Fast時のみ45μm) CD33-250□□□:75μm(応答時間:Fast時のみ100μm) |
| サンプリング周期 | 0.5(初期設定。CD33-250□□□のみ:0.75)、1、1.5、2ms 4段階切換可能 |
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