FPD用ブランクス検査装置

MIS-FBシリーズ

FPD用マスクブランクスの外観検査に最適

株式会社東光高岳

・G10サイズのブランクス検査が可能
・独自の検査光学系により高い検出力と高スループットを実現
・検出した欠陥の自動分類が可能
・大型ブランクスを高い位置決め精度で検査装置に搬送するアシストアーム(オプション)

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主な用途 FPD用マスクブランクスの外観検査
URL https://www.tktk.co.jp/product/electronics/blanks/#tabpanel02

株式会社東光高岳

東光高岳は、電力流通システムを一貫してカバーする製品とサービスを提供する中で培った計測・伝送・制御のコア技術をもとに、半導体の製造に欠かせない部品・パーツの検査装置を開発しています。

〒 135-0061
東京都江東区豊洲5-6-36 ヒューリック豊洲プライムスクエア8F

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