半導体用ブランクス検査装置
MIS-Bシリーズ
5inch、6inch、7inch、9inchサイズのブランクス検査が可能
・独自の検査光学系により高い検出力を実現
・検出した欠陥の自動分類が可能
・長期間安定稼働し、高スループットを実現するブランクス自動搬送システム
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| 主な用途 | 半導体用マスクブランクスの外観検査 |
|---|---|
| URL | https://www.tktk.co.jp/product/electronics/blanks/ |
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企業情報
株式会社東光高岳
東光高岳は、電力流通システムを一貫してカバーする製品とサービスを提供する中で培った計測・伝送・制御のコア技術をもとに、半導体の製造に欠かせない部品・パーツの検査装置を開発しています。
〒 135-0061
東京都江東区豊洲5-6-36 ヒューリック豊洲プライムスクエア8F
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