汎用三次元検査装置
FVIシリーズ
製品開発から少量産対応が可能です。
多種多様な製品の高さ、コプラナリティ、深さを高速・高精度に測定検査する装置です。
・高さ繰り返し精度(3σ ave. 1μｍ以下)
・検査対象物にあわせ、ステージ及びセンサを変更できます。
・鳥瞰図・断面図を簡単表示できます。
・KNタイプ(Z軸変位方式)では、計測レンジ5ｍｍまで対応可能です。
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| 主な用途 | バンプ高さ、平坦度 (表面、パターン・端子など)、円柱部品、表面粗さ計測、凸部高さ、凹部深さ、突起計測、透明物中間異物検査、ガラス、樹脂など |
|---|---|
| URL | https://www.tktk.co.jp/product/electronics/general3d/ |
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企業情報
株式会社東光高岳
東光高岳は、電力流通システムを一貫してカバーする製品とサービスを提供する中で培った計測・伝送・制御のコア技術をもとに、半導体の製造に欠かせない部品・パーツの検査装置を開発しています。
〒 135-0061
東京都江東区豊洲5-6-36 ヒューリック豊洲プライムスクエア8F