WVIシリーズ
面付けされた基板/ウェーハ/ウェーハリングに実装されたバンプの高さ、径、平坦度を高速・高精度に計測する自動検査装置です。ご要望により、2次元検査、NG処理、レビュー機能追加も可能です。
検査装置 総合カタログのダウンロード (3.8Mb)
主な用途 | SAWフィルター、SIP、WLCSP向けなどのバンプ高さ、基板反り、コプラナリティ検査 |
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URL | https://www.tktk.co.jp/product/electronics/bump-04/ |
多面取り基板バンプ検査装置の関連カタログ
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