オゾン分解排気ユニット

OZFDT

高性能長寿命触媒採用排気ファン内蔵タイプ

エキシマUV照射装置等のオゾンガスを分解します。AC100V排気ﾕﾆｯﾄを内蔵し局所排気設備が無い環境でもｵｿﾞﾝ排気無害化が可能です。オゾン利用設備の排気処理を長年行ってきた経験と実績に基づく日本製の製品です。

特長
 ｺﾝﾊﾟｸﾄな本体に排気ファンが内蔵。
 高濃度オゾン対応非金属系触媒採用
 長寿命　触媒設計寿命　１年
 廃棄物は自治体の定める一般廃棄物

殺菌や脱臭、洗浄、改質などでオゾンを利用した際にオゾンガスの排気には困ります。そのまま排気すればダクトやファンなどが腐食し危険です。屋外へ排気すれば拡散はしますが排気口付近は高濃度のオゾンガスなので安全ではありません。工場ではドラフターやスクラバーなどで酸排気処理いたしますが工場以外ではオゾンフィルター等で除外する方法が一般的です。
従来のオゾンフィルター分解器は高濃度のオゾンガスを短時間で処理するにはコストも場所も要する大きな容量が必要でした。小型のオゾン利用装置でオゾンフィルターを使用するには装置内にオゾンフィルター配置してオゾンガスが薄まるまで循環させる方式が一般的です。弊社は半導体製造装置などで培われた豊富な技術と経験から小型サイズのオゾンフィルターながら高性能な為、装置内のオゾンガスを循環させることなくワンパスで排気処理可能な排気オゾンガス濃度0.1ppm以下にする排気ファン内蔵オゾン分解ユニットを実現し販売いたしております。この方式のメリットは循環処理が不要な為、装置全体のプロセス時間が短時間となります。また、オゾン分解フィルターが装置の外なのでオゾンフィルターに使われる活性炭や重金属触媒などの成分による装置内の再汚染の可能性が構造的にありません。オゾンフィルター選定の際は安全にかかわる製品なので排気オゾン濃度、フィルター寿命など性能表示の確認が重要です。

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