BPS-iF100 流量コントローラ (半導体・マイクロエレクトロニクス用)

流量制御レンジ 0-20 liters/minの流量コントロールユニット

ベアリングレス・シールレス・パルスレス・ノンパーティクル・コンタミフリー

BPS-iF100 流量コントロールユニットは Levitronix®独自の磁気浮上ポンプ技術と超音波流量の計測技術を融合した製品です。これにより、圧力源としての機能と正確無比な流量コントロールの機能が高度に統合された製品となりました。

ポンプシステムは摩耗する恐れのある軸受がなく、液漏れの恐れのある軸封も使用しない、画期的な遠心ポンプです。磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。

流量は、既に実績のある LEVIFLOW®超音波センサ技術により流路を妨げることなく測定されます。

ポンプヘッド及び流量センサは、耐薬液性の高い高純度フッ素樹脂から造られています。ポンプコントローラ、モータ及び流量コンバータは、ドライバハウジングと一体になり組み込まれています (図 3)。このことにより、ケーブル配線及びセットアップに要する労力を格段に減らすことができます。流体流量は、インペラの回転数を精密に電子制御することより、脈動を発生することなく制御されます。

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BPS-iF100 流量コントローラ (半導体・マイクロエレクトロニクス用)の情報・製品仕様

主な用途	・半導体ウェットプロセス (洗浄、CMP 等) ・PCB、電子部品メッキ・太陽電池製造・FPD 製造・ハードディスク基板製造・印刷用インク、研磨液・化学薬品製造、製薬・医薬製造・EL 薬品/ファインケミカル製造・レドックスフロー二次電池のような電解液循環