BPS-4H (高温) ポンプ (半導体・マイクロエレクトロニクス用)

最大 180℃流体、0.32 MPa 又は 50 l/minのポンプシステム

ベアリングレス・シールレス・パルスレス・ノンパーティクル・コンタミフリー

BPS-4H ポンプシステムは摩耗する恐れのある軸受がなく、液漏れの恐れのある軸封も使用しない、画期的な遠心ポンプです。磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。

インペラとケーシングは、共に耐薬液性の高い高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石と共にポンプヘッドを構成しています。寿命と性能テストは、高温の硫酸・リン酸とオゾン硫酸及び硫酸過水の混合液で行
いました。

高温の液体によりモータ内の電子部品が過熱しないようにモータには水冷用の冷却ループが付属されています。

流量と吐出圧は、インペラの回転数を電子回路によりコントロールすることにより、正確に制御されますので脈動がありません。クローズドループの流量或は圧力制御システムは、流量或は圧力計を追加使用することにより簡
単に構築可能です。その他、以下の節で説明があるように様々なシステムの構成が可能です。

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BPS-4H (高温) ポンプ (半導体・マイクロエレクトロニクス用)の情報・製品仕様

主な用途	・半導体ウエハ処理プロセス向け高温ウェットプロセス・最大 180°C までの硫酸とリン酸の圧送が可能・最大 150°C までのオゾン硫酸 (SOM) 又は硫酸過水 (SPM) の圧送が可能