BPS-4000 ポンプ (半導体・マイクロエレクトロニクス用)

最大 0.63 MPa 又は 280 l/minのポンプシステム

ベアリングレス・シールレス・パルスレス・ノンパーティクル・コンタミフリー

BPS-4000 ポンプシステムは摩耗する恐れのある軸受がなく、液漏れの恐れのある軸封も使用しない、画期的な遠心ポンプです。磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。

インペラとケーシングは、共に耐薬液性の高い高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石と共にポンプヘッドを構成しています。

流量と吐出圧は、インペラの回転数を電子回路によりコントロールすることにより、正確に制御されますので脈動がありません。クローズドループの流量或は圧力制御システムは、流量或は圧力センサを追加使用することにより簡単に構築可能です。

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BPS-4000 ポンプ (半導体・マイクロエレクトロニクス用)の情報・製品仕様

主な用途	半導体ウェットプロセス (洗浄、CMP 等) PCB、電子部品メッキ太陽電池製造 FPD 製造ハードディスク基板製造印刷用インク、研磨液化学薬品製造、製薬・医薬製造 EL 薬品/ファインケミカル製造超純水の昇圧ブースター
URL	http://www.levitronix.com/ja/bps-4000.html