セラミック・トップ・ヒーター Max1800℃ 超高真空真空薄膜用ウエハー加熱ユニット

CTH

Max1800℃ φ1〜φ12inch 超高真空対応 CVD, PVD真空薄膜用均熱ウエハー加熱ヒーター

セラミック・トップ・ヒーターは、大気圧・真空・プロセスガス中での各種薄膜実験・開発用途に幅広くご使用いただける面状ウエハー加熱ヒーターユニットです。トッププレートには高温での熱伝導率に優れ、電気絶縁性の高い窒化アルミ製プレートを採用しております。ヒーターエレメントは、NiCr、及びグラファイト、CCCなどのカーボンヒーター、PG/SiC/PBNコーティング、グラッシーカーボンなど10種類を用意。使用環境に応じて選択が可能です。半導体製造装置・各種真空装置内（PVD、CVD、真空アニール等）での高温ホットプレート、成膜用ヒーターとして最適です。

※ セラミック・トップ・ヒーターは、カスタマイズ製品です。お見積り依頼の際は当社までご要求仕様条件をお知らせ下さい。

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セラミック・トップ・ヒーター Max1800℃ 超高真空真空薄膜用ウエハー加熱ユニットの情報・製品仕様

主な用途	半導体・太陽電池・表示ディスプレイ等の基礎技術開発分野に於けるCVD, PVD（PLD, ALD, 蒸着, スパッタリングなど）の成膜実験、物性研究などの研究開発用途に最適であり、更に生産用途装置での活用も可能です。
URL	http://www.thermocera.com/products/ceramictopheater.html