繰り返し反射干渉計
BM-5、ナノスコープ
2nm以上の高精度測定が可能
高反射２鏡面における光の等高干渉縞によって、縦方向の表面の変位を測定
相対する試料面と参照面の反射率を大きくすることにより、繰り返し反射による干渉縞が生じます。この干渉縞は繰り返し反射回数が多いほど、明部はより明るく、暗部はより暗く強調され、細くコントラストの良い干渉縞が得られます。
干渉縞の変位1本は1/2波長の0.273μmです。
反射率の高い表面では、縞が細く縞間隔の1/200程の変位が測定可能である為、2nm以上の高精度測定が可能となります。
※測定可能範囲は約5nm～2μmです。
製品ラインナップ
■繰り返し反射干渉計 BM-5
蒸着膜・スパッタリング膜等の鏡面状の膜厚段差測定 等
■ナノスコープ
繰り返し反射式の膜厚計
企業情報
株式会社溝尻光学工業所
株式会社溝尻光学工業所は創業以来90年の実績で培った技術力を基に、他社ではできない特注・カスタマイズ測定機をご提供しております。 測定にお困りの際には、まずはお気軽にご相談頂ければあらゆる可能性をご...
〒 141-0033
東京都品川区西品川2-8-2
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