エアフローセンサ

すべてのエアフローセンサはフローや差圧の熱伝達により動作します。

シリコンチップは、ヒーターと温度検知素子を含む温度隔離ブリッジ構造になっている薄膜で構成されています。これらの特徴により、空気やガスのフロー、量、方向に即座に反応し、比例出力電圧を発生させます。増幅バージョンでは出力信号の増幅と外部回路の削減が実現され、非増幅バージョンでは外部回路オプションが可能です。

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エアフローセンサの特長

■高度なチップ設計、製造技法、マイクロストラクチャテクノロジー
■応答時間の短縮と消費電力の低減
■多様なポートスタイルで、アプリケーションの柔軟性をさらに拡充

充実の製品群

■ハネウェルZephyr™ HAFシリーズ、高精度な±50 SCCM～±750 SCCM
■ハネウェルZephyr™ HAF シリーズ - 高精度10 SLPM～300 SLPM
■AWM1000シリーズ
■AWM2000シリーズ
■AWM3000シリーズ
■AWM5000シリーズ
■AWM700シリーズ
■AWM40000シリーズ
■AWM90000シリーズ

■低フローの検知（30 SCCM～300 SLPM）
■正確な低圧検知
■アナログまたはデジタル出力バージョン
■ 増幅ありまたは増幅なしバージョン