クリーンルーム架台
クリーンルーム内のフリーアクセス床は軽量化のためアルミダイカストで製作され、それを支持する脚部も
振動に対して決して強いとは言えません。周囲の外乱振動を装置に伝えやすいため、振動スペックの厳しい高精度な装置を設置しようとした場合、何らかの振動対策を実施する必要があります。
また、質量の大きな装置を設置しようとした場合、装置を支持するための剛性架台が必要になるケースもあります。
| 主な用途 | 半導体製造・検査装置などクリーンルームに設置されるあらゆる装置。 フリーアクセスフロア（二重床）に設置される精密機器。 |
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| URL | http://ssvi.co.jp/solution/sl01.html |
企業情報
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