除振台 アクティブ除振ユニット VAAV-E リニアモータータイプ
VAAV-E リニアモータータイプ
独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速計算し、空気を使用しない超高速応答のリニアアクチュエータと超高感度速度センサにより、瞬時に振動を打ち消します。
荷重支持のみ空気ばねを使用するため、小型コンプレッサーと電源さえあれば床側にも配備した超高感度速度センサを使用したフィードフォワードにより、世界最高水準の除振性能を提供できます。
また、VAAV-Lシリーズ同様、最もソフトな空気ばねを使用しているため、シリーズ最高の除振性能を実現しています。
リニアアクティブ除振ユニットＶＡＡＶ－Sのダウンロード (1.5Mb)
| 主な用途 | 電子顕微鏡では、高倍率の画像が振動によってブレるのを防ぎます。パッシブ除振台では除ききれない低周波数の振動を嫌う顕微鏡において、このアクティブ除振台が効果を発揮しています。 走査トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡や光学測定装置など、特に振動に敏感な装置の振動対策に使用されています。 低周波振動の大きい設置床環境の除振対策 |
|---|---|
| URL | http://ssvi.co.jp/joshin/active04.html |
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