自動2次元座標測定機能付き白色干渉顕微鏡　OPTIFIS　IS-R300

IS-R300

簡単操作でナノメートルの3D/2D自動測定を実現

新東Ｓプレシジョン株式会社

OPTIFIS IS-R300は、白色干渉顕微鏡に2次元測長機能を追加した業界初のハイブリッド自動測定顕微鏡です。
3Dと2Dの異なる検査を1台で対応。
機能はオールインワンでコストはコンパクトなモデルです。
※本装置は生産性向上設備投資促進税制の税制待遇が受けられます。

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測定画像XY結合機能

XY移動をしながら測定した画像をステッチングすることが可能です。
視野より広い面の歪みや形状測定や分布の評価に便利です。

広範囲の高さ測定機能

Z軸に搭載したスケールにて、上面と下面の測定結果をリンクできる為ピエゾの走査範囲以上の段差測定が可能です。
ピエゾの走査範囲（MAX.400μm）以上の段差の測定ができます。
高さのあるワークの測定に効果的です。

プロブ検査・解析機能

検出画像内において、欠陥（特徴）とその他を自動で検出します。
対象となる欠陥は任意で閾値を設定することが可能です。

主な用途 光コネクタ、スマートフォン、プリント配線板、液晶テレビ、精密加工部品、半導体など
URL http://www.sinto-sp.co.jp/products/optifis.html

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・精密座標測定機、その他精密測定機器の開発・製造・販売及びメンテナンス ・精密加工装置の開発・製造・販売及びメンテナンス

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