E-753
高次多項式に基づく線形化アルゴリズムにより位置決め精度をトラベルレンジの0.001%まで高めることが可能
■ フレキシビリティ、精度、速度を高める
次世代デジタルコントローラー
■ 100kHzのセンサーサンプリング、
32ビット浮動小数点DSP、
24ビット低ノイズD/Aコンバータ
■ リモートを可能にするEthernet(TCP/IP)
インターフェース、RS-232
■ ステージIDチップから校正データ
自動ローディングによりコントローラーと
メカニクスの互換性を確保
■ 高帯域幅アナログ制御入力/センサー入力
■ タスクトリガー制御のためのデジタルI/Oライン
■ 広範なソフトウエアサポート
■ 静電容量センサーナノポジショニングシステム向け
PI(Physik Instrumente)社はドイツ・カールスルーエを本拠地とし、弊社ピーアイジャパンは、日本で30年以上に渡り、半導体、計測測定、顕微鏡、機械加工、天体観測など様々なお客様に高精度...
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