6軸ロングストロークピエゾステージ
P-587
表面計測において6軸すべてのスキャニングと位置決めが可能！ロングストロークピエゾステージ
P-587.6CDは、ピエゾフレクシャ駆動に基づく、独自の高精度6軸スキャニング／ポジショニングステージです。800×800×200μmのリニアストロークレンジと最大8mradの回転レンジを誇ります（XとY軸については最大3mrad）。ダイレクト計測によるナノメートルレベルの精度PIの静電容量センサーは物理的接触なしに、
対象物の位置を直接測定します。摩擦やヒステリシスがなく、また、位置決めの分解能が1nmを下回るため、非常に高レベルのリニアリティが得られます。静電容量センサーによるダイレクト計測のさらなる利点は、すぐれた分解能と最大10kHzという高周波数帯域です。
| 主な用途 | ● 干渉計 ● 各種計測 ● ナノインプリント ● 半導体試験 ● 半導体製造 |
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| URL | http://www.pi-japan.jp/products_category_pztpos_nanopos_3to6.html |
企業情報
ピーアイ・ジャパン株式会社
PI（Physik Instrumente）社はドイツ・カールスルーエを本拠地とし、弊社ピーアイジャパンは、日本で30年以上に渡り、半導体、計測測定、顕微鏡、機械加工、天体観測など様々なお客様に高精度...
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