PIMars™ XYZ軸開口部付ピエゾステージ
P-561
66×66mmのセンター開口部は光透過式アプリケーションに最適！最大６軸のカスタマイズも可能！
PIMars™ピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステムで、ナノメートルレンジの平坦度と直進度を誇ります。66×66mmのセンター開口部は、ニアフィールド走査／共焦点顕微鏡やマスク位置決めなどの、光透過式アプリケーションに最適です。
| 主な用途 | ● 走査型顕微鏡 ● マスク／ウェハー位置決め ● 干渉計 ● 各種計測 ● バイオテクノロジー ● マイクロマニピュレーション |
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| URL | http://www.pi-japan.jp/products_category_pztpos_nanopos_pxyz.html |
企業情報
ピーアイ・ジャパン株式会社
PI（Physik Instrumente）社はドイツ・カールスルーエを本拠地とし、弊社ピーアイジャパンは、日本で30年以上に渡り、半導体、計測測定、顕微鏡、機械加工、天体観測など様々なお客様に高精度...
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