Z・チップ・チルト開口付ピエゾステージ
P-518
多軸・精密制御に最適！１～３軸タイプあり・開口付ピエゾステージ
P-5x8シリーズ、Z／チップ／チルトナノポジショニングステージは、開口型の高分解能ピエゾ駆動ステージで、最大200μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。また、66×
66mmのセンター開口部は、光透過式アプリケーションに最適です。同じ形のXYおよびXYZ多軸バージョンとして、モデルP-517およびP-527が、また、最大6軸のP-587.6CDがあります。
企業情報
ピーアイ・ジャパン株式会社
PI（Physik Instrumente）社はドイツ・カールスルーエを本拠地とし、弊社ピーアイジャパンは、日本で30年以上に渡り、半導体、計測測定、顕微鏡、機械加工、天体観測など様々なお客様に高精度...
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