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各種フィルム基板(ポリイミド、PET、PEN等)、ガラス、Si基板上へ各種金属膜・ITO膜の成膜~パターン形成加工を行います。
これまで蓄積してきた薄膜形成技術とエッチング技術を組み合わせることで、多種多様の膜構成、エッチングパターンの作成が可能です。
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