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成膜条件を制御することにより研磨同様の平坦性を実現し、成膜後の研磨を不要としました。研磨が不要になったことにより、研磨剤の残渣やキズに対しての懸念がなくなりました。
ITO膜のドメイン構造が均質なので、綺麗なパターニングエッジに仕上がります。また、通常のITO膜と同様に低抵抗で、膜応力が小さいため、基板へのストレスもありません。
FLAT ITO膜のダウンロード (828.5Kb)
主な用途 | 携帯電話やカーナビゲーション |
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URL | http://www.geomatec.co.jp/product/ito/el.html |
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