OPTELICS HYBRID
2つのコンフォーカル光学系をベースに、干渉計測、反射分光膜厚測定、微分干渉測定などの6つの機能を搭載。複数の装置を揃えないと実現できなかった観察、測定が1台で可能になりました。この1台でさまざまな課題を解決します。
■白色コンフォーカルの特長:高精細24bitフルカラー観察、広視野観察・測定、ミクロンオーダーの透明膜厚測定
■レーザーコンフォーカルの特長:高倍率、高分解能、高コントラスト
主な用途 | 各種材料の観察及び形状測定: 半導体材料&デバイス、透明膜、ITO膜、MEMS、コーティング材料、フィルム、 無機・有機材料、バイオ系試料、金属部品、プラスチック加工部品など |
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URL | http://www.lasertec.co.jp/products/special/hybrid/index.html |
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