スループットを増やす
RESOLUTE は、UHV環境向けに設計された他のすべてのアブソリュートエンコーダを上回るパフォーマンスを備えています。分解能32ビット（リニアエンコーダバージョンでは1nm）、最大 36000rpm（リニアエンコーダバージョンでは100rpm）を実現する RESOLUTE は、エンコーダ技術において画期的な仕様を実現しています。しかし、RESOLUTE が提供できるのは、単にスピードだけではなく、高度な検出機構により極めて低いサブディビジョナルエラー（SDE）と超低ノイズ（ジッタ）を実現します。
結果：
・10倍近くスムーズな速度リップル
・10倍近く優れた位置決めの安定性
・10倍近く優れた繰返し精度
・モーターで発生する熱を低減
損傷のリスクを低減
RESOLUTE は真のアブソリュートエンコーダであるため、スイッチ投入直後から絶対位置決め計測を行うことができます。
・「ウェイク＆シェイク」移動が不要
・バッテリーバックアップが不要
・直ちに軸の完全制御を確立
・即時モーター整流
・高ペイロードを保持
これらの機能により、電源切断後にウェハー処理ロボットを安全に取り出すことなどができるようになります。
信頼性の向上
RESOLUTE の基本技術は、エンコーダのフィードバックに付きまとう一般的な障害のいくつかを排除しています。リードヘッドがホストコントローラから要求を受信する度に、RESOLUTE はスケールのイメージをキャプチャし、絶対位置の取得に使用します。このイメージには高レベルの冗長性が装備されており、リードヘッドは複雑な相互参照と誤差排除を行い、1nmの精度で位置を判定します。このような技術により、誤カウントやカウント喪失のような状況の可能性が排除されます。
さらに RESOLUTE は、位置決めをチェックするために組み込まれたアルゴリズムを常に実行することで、問題がコントローラに到達する前に、起こり得る問題に対してアラームを発するため、高い信頼性が得られます。さらに、スピード、信号強度、温度もモニタリングされています。
RESOLUTE は純粋なシリアル通信を使用して、チェック済みの位置情報をコントローラに送信します。RESOLUTE に使用されるすべてのプロトコルには、CRCチェックを適用しているため、送信中のデータ破損を検出できます。
企業情報
レニショー株式会社
お客様のニーズに合わせた技術革新の促進を通じて、最先端のテクノロジーを提供する。 最高の品質と信頼性を備えた計測システムの設計、製造、および販売を通じて、世界中のお客様がトレーサブルな規...
〒 160-0004
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