VUV-F型
VUV-Fパネルクリーナは、断面がVacuum/Ultrasonic Pressur/Vacuumと並べられた構造を採用しています。弊社の特許であるUV式に更にVacuumを加えたことにより、更に性能はアップしました。
超音波式ドライ洗浄システム(2014.08版)のダウンロード (8.4Mb)
ドライクリーナで3μmの粉塵を100%除去可能です。
エアーバランスがよいのでヘッドを対向させて両面同時クリーニングが可能です。
非接触式のための基材の表面への損傷はありません。
フラットパネル用超音波ドライクリーナの関連カタログ
昭和39年の創業以来、弊社は省力化・省資源化を多面的に見つめる視点を備え、ウェブ業界並びに電子材業界における各種機器、制御機器の開発から販売まで、総合的に取り組んでまいりました。生産ラインの流れを把握...
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