フラットパネル用超音波ドライクリーナ

UVU-F型

ミクロの限界を超えた除塵能力

株式会社伸興

UVU-Fパネルクリーナは、断面が、Ultrasonic Pressure / Vacuum /Ultrasonic Pressureと並べられた構造を採用(特許取得)したことにより、従来の非接触式パネルクリーナの限界を越えた高性能パネルクリーナとなりました。

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超音波式ドライ洗浄システム(2014.08版)のダウンロード (8.4Mb)

ドライクリーナで1.6μmの粉塵を100%除去可能です。

ドライ洗浄方式の為、水・薬液の交換がなくランニングコストがかかりません。

非接触式のため、ガラス基盤等の表面にスクラッチ、及び成膜への損傷を与えません。

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超音波式ドライ洗浄システム(2014.08版)

株式会社伸興

昭和39年の創業以来、弊社は省力化・省資源化を多面的に見つめる視点を備え、ウェブ業界並びに電子材業界における各種機器、制御機器の開発から販売まで、総合的に取り組んでまいりました。生産ラインの流れを把握...

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