フラットパネル用超音波ドライクリーナ
UVU-F型
ミクロの限界を超えた除塵能力
UVU-Fパネルクリーナは、断面が、Ultrasonic Pressure ／ Vacuum ／Ultrasonic Pressureと並べられた構造を採用（特許取得）したことにより、従来の非接触式パネルクリーナの限界を越えた高性能パネルクリーナとなりました。
超音波式ドライ洗浄システム(2014.08版)のダウンロード (8.4Mb)
ドライクリーナで1.6μmの粉塵を100％除去可能です。
ドライ洗浄方式の為、水・薬液の交換がなくランニングコストがかかりません。
非接触式のため、ガラス基盤等の表面にスクラッチ、及び成膜への損傷を与えません。
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企業情報
株式会社伸興
昭和３９年の創業以来、弊社は省力化・省資源化を多面的に見つめる視点を備え、ウェブ業界並びに電子材業界における各種機器、制御機器の開発から販売まで、総合的に取り組んでまいりました。生産ラインの流れを把握...
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