UVU-F型
UVU-Fパネルクリーナは、断面が、Ultrasonic Pressure / Vacuum /Ultrasonic Pressureと並べられた構造を採用(特許取得)したことにより、従来の非接触式パネルクリーナの限界を越えた高性能パネルクリーナとなりました。
超音波式ドライ洗浄システム(2014.08版)のダウンロード (8.4Mb)
ドライクリーナで1.6μmの粉塵を100%除去可能です。
ドライ洗浄方式の為、水・薬液の交換がなくランニングコストがかかりません。
非接触式のため、ガラス基盤等の表面にスクラッチ、及び成膜への損傷を与えません。
フラットパネル用超音波ドライクリーナの関連カタログ
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