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電磁膜厚計
電磁膜厚計
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繰り返し反射干渉計
BM-5、ナノスコープ
2nm以上の高精度測定が可能
高反射２鏡面における光の等高干渉縞によって、縦方向の表面の変位を測定 相対す...
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