その他リニアモータ
その他リニアモータ
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高精度リニアモーターステージ
ＵＰＳ-150
ファイバーアライメントやウエハ表面検査装置向け・リニアモーターステージ
■ リニアモーター ■ トラベルレンジ：最大305mm（12"） ■ 一方向再現性：＜0.015μm...
リニアモーターロングステージ
LMS-180
高度なエレクトロニクス製造やレーザーアプリケーション用に開発！リニアモータステージ
■ リニアモーター ■ トラベルレンジ：最大508mm（20"） ■ 一方向再現性：＜0.05μm ...
Q-Motion ミニチュアリニアステージ
Q-522
ナノメートルの範囲で正確な位置分解能！22mm角の小型ステージ
■ わずか22mm幅・高さ10mm ■ 分解能最大1nmのインクリメンタルエンコー ダを使...
ミニチュアポジショニングステージ
LPS-24
わずか24mm幅・5Nの保持力！ミニチュアステージ
わずか24mm幅 ■ トラベルレンジ：15mm ■ 5Nの保持力 ■ NEXACT® ピエゾモータ ■ ...