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基板クリーナ

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超音波両面ドライクリーナ

VUV-FⅠ&FⅡ型

世界初！ 0.4mmの薄板ガラス、樹脂基板の両面クリーニングに成功！！ 吸着テーブル不...

超音波高圧クリーナ

VUV-HG型

3ミクロン以上の粉塵の除去 エッジ部の除塵等に最適

CCD、C-MOS、ICパッケージ、LCDモジュール等用

フラットパネル用超音波ドライクリーナ

VUV-F型

両面同時クリーニング可能 ブロワーは、小型・省スペースで安価

VUV-Fパネルクリーナは、断面がVacuum/Ultrasonic Pressur/Vacuumと並べられた構造を...

ジェット式バキュームキュリーナ

NSHV-F型

独特なノズル設計で20ミクロンクラスの微粒子を除去。 スぺーサービーズのクラスター...

フラットパネル用超音波ドライクリーナ

UVU-F型

ミクロの限界を超えた除塵能力

UVU-Fパネルクリーナは、断面が、Ultrasonic Pressure ／ Vacuum ／Ultrasonic Press...

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