接合型FET
接合型FET
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電子ビーム描画装置
ELS-F125
世界初、後方散乱電子の影響、近接効果の影響が極めて小さい超高加速電圧125kVでの電...
世界最高峰の加速電圧125ｋVを採用し、5nmを切る究極の極細線描画性能と圧倒的な高ス...
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ELS-F125
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