架台

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クリーンルーム内のフリーアクセス床は軽量化のためアルミダイカストで製作され、それを支持する脚部も振動に対して決して強いとは言えません。周囲の外乱振動を装置に伝えやすいため、振動スペックの厳しい高精度な装置を設置しようとした場合、何らかの振動対策を...