株式会社エリオニクスの製品一覧
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電子ビーム描画装置
ELS-F125
世界初、後方散乱電子の影響、近接効果の影響が極めて小さい超高加速電圧125kVでの電子...
世界最高峰の加速電圧125ｋVを採用し、5nmを切る究極の極細線描画性能と圧倒的な高スループットを実現！ エリオ二クス開発陣の永年に渡る経験、情熱、独創が見事に結晶。 ・...
三次元粗さ解析走査電子顕微鏡
ERA-600
高精度・高分解能表面形状測定機の決定版。
高精度・高分解能表面形状測定機の決定版。 高分解能SEM観察と試料表面の形状測定、表面性状パラメータ算出がこの一台で可能！ 精密工学会技術賞を受賞。