新東Ｓプレシジョン株式会社の製品一覧

自動２・３次元座標測定機　AMICシリーズ

高密度プリント基板、半導体パッケージ部品、電子部品から大型FPDパネルまで、幅広い分野の寸法管理で活躍する新東Ｓプレシジョンのスタンダードシリーズ。さらに照明やディスプレイ用としてニーズが高まっているLED分野にも活躍の場を拡げています。本質的な精度を追求する精緻な機構設計から生まれたAMICは、長年にわたって研究開発・モノづくりの現場で信頼さ...

自動２・３次元座標測定機　OMICシリーズ

スマートフォンやタブレットPCなどで使用される有機ELディスプレイやタッチスクリーンなど、最新の測定要求に対応するために誕生した新モデル、OMIC。 AMIC以上の精度領域の測定に、SMIC以上のコストパフォーマンスで対応します。

精密２次元座標測定機　SMICシリーズ

精度に対する絶対的な信頼でLCD トータルピッチ測長機として実績を積み重ねてきたSMICシリーズ。フォトマスクや有機EL、MEMS等の精密寸法測定にも、その実力を発揮します。 SMICはグラナイト製石定盤、高精度セラミックエアスライダーとファイバー式レーザー干渉測長システムによる高精度XYステージ、高平面度ガラステーブル、高性能サーマルクリーンチャンバーな...

精密２次元座標測定機　UMICシリーズ

大型化され、ますます微細化が進むLCDの量産ラインに寸法測定機として数多くの実績を築いたSMICシリーズ。その露光プロセスの原版となるフォトマスクは更に確かさを要求されております。 UMICシリーズはそのフォトマスク寸法管理における原器を目指した超精密寸法測定機です。

自動短寸法測定機　μーMasterシリーズ

LCDのTFTアレイプロセス、及びカラーフィルタープロセスでのCD・オーバーレイ測定に対応する短寸法測定専用モデル。精密座標測定機で培った高いステージ位置決め技術と、高解像度光学顕微鏡、そして進化した専用測定ソフトウェアが、有機ELディスプレイのバックプレーンとしても注目されるLTPS*1の微細なCD・オーバーレイ測定にも完全に対応。さらに高精細フォト...

半導体マスク用座標測定機　SAM-300

アクティブ除振台付き石定盤上に載ったサーフェイス式XYZステージに、自社製のダブルパス方式He-Neレーザー干渉計測長システムを搭載。レーザー波長は光学トラッキング方式で補正し、ステージ位置決めはプレーンミラーにより0.3nm分解能で制御します。撓み補正やグリッド・線幅補正といったソフト補正機能も充実。

画像計測ソフトウェア　３D-SCAM

全シリーズ共通の計測ソフトウェア「3D-SCAM」高い操作性と多様な測定対象に対応する機能性を備え、お客様の測定作業をサポートします。カスタマイズ可能な測定モードあらゆる形状・寸法の測定に対応した測定モード・アライメントモードを用意。さらにお客様のご要望により、新しいモードの作成にも対応します。画像フィルター画像フィ...