大型角型ゲートバルブ SOLVATの製品概要
過酷なプロセスおよび高温に対応した設計
お客様指定のデザインに柔軟に対応し、水冷・過熱プロセスからも保護。短い開閉時間による高いスループットが実現。バルブのフランジ面間距離が小さいことによりパーティクル発生を抑えられる。
この製品の利用用途
PVセルおよび大型成膜装置用。
大型角型ゲートバルブ SOLVATの関連ドキュメント
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過酷なプロセスおよび高温に対応した設計
お客様指定のデザインに柔軟に対応し、水冷・過熱プロセスからも保護。短い開閉時間による高いスループットが実現。バルブのフランジ面間距離が小さいことによりパーティクル発生を抑えられる。
この製品の利用用途
PVセルおよび大型成膜装置用。
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