大型角型ゲートバルブ FLAPVATの製品概要
短い開閉時間による高いスループット！
過酷なプロセス条件用に設計されたメカニズム。お客様指定のデザインで幅広い開口サイズも実現可能。
この製品の利用用途
PVセルおよび大型成膜装置用。多数のPECVDアプリケーションでの実績あり。
大型角型ゲートバルブ FLAPVATの関連ドキュメント
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短い開閉時間による高いスループット！
過酷なプロセス条件用に設計されたメカニズム。お客様指定のデザインで幅広い開口サイズも実現可能。
この製品の利用用途
PVセルおよび大型成膜装置用。多数のPECVDアプリケーションでの実績あり。
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