コントロールアングルバルブ

コントロールアングルバルブの製品概要

バルブ内部の温度を均一にすることでデポ物の付着を極限まで低減！

ネジ4本の簡単組立により、メンテナンス効率が大幅に向上し、40%の軽量化（当社比）を実現。制御応答時間と自動学習機能により、稼働率アップ！リクエストがあれば、200℃までベーク可能。

この製品の利用用途

縦型炉を使用するLPCVD、ALD等の高温、高圧での圧力制御および真空封止用。