VAT メーカー公式情報
低ショックでパーティクル発生が少ない超高真空バルブ
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UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ。ベローズ軸シールで潤滑材不要の機構。
ミニUHVゲートバルブ SERIES 01.0 (1.3 MB | 日本語)