ミニUHVゲートバルブの製品概要
低ショックでパーティクル発生が少ない超高真空バルブ
ＵＨＶから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ。ベローズ軸シールで潤滑材不要の機構。
ミニUHVゲートバルブの 型式一覧 (1件)
ミニUHVゲートバルブの関連ドキュメント
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低ショックでパーティクル発生が少ない超高真空バルブ
ＵＨＶから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ。ベローズ軸シールで潤滑材不要の機構。
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