半導体装置用 粉体除去装置 TRAPPACKの製品概要
独自エレメントで圧損なく微粉体を除去！
CVD/インプラ/エッチング等のプロセスによって生成される微細な反応生成物
一般的なフィルター等では通過してしまうような細かい粉体でも
弊社独自のエレメント技術により繊維に吸着させることで除去します。
各種半導体装置・除害装置の故障や配管閉塞から守り
設備稼働率向上・生産性アップに寄与する製品です。
この製品の利用用途
CVD/エッチング/インプラ/FPD/その他各種、微細粉体の発生箇所
半導体装置用 粉体除去装置 TRAPPACKの 型式一覧 (1件)
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TRAPPACK - この型式の販売元は登録されていません |
半導体装置用 粉体除去装置 TRAPPACKの関連ドキュメント
| 製品カタログ | ダウンロード |
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半導体装置用 粉体除去装置 TRAPPACKの詳細情報
| メーカー | 大成技研 |
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| 登録カテゴリ |
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