MEMSMap 510

MEMSMap 510の製品概要

高周波数240MHzまで対応 位相情報も含めてリアルタイムで確認可 1nmから測定可能　サンプル評価試験も実施中

製品概要
メムスマップ510は微小測定物(0.1mm以上)の振動変位解析をCCDカメラと顕微鏡レンズを用いて行います。
測定物にレーザーを照射し、測定物より反射されたレーザーと内部レファレン スレーザーとの間で干渉縞を作成します。この干渉縞を高精度の顕微鏡レン ズとCCDカメラで画像処理ボードを通して、デジタルデータとしてPCに取り込み ます。メムスマップは測定物の振動と変形を、リアルタイムモードおよび位相 変調法の2つの異なる手法で測定することができます。
リアルタイムモードでは、振動と変形量を測定物イメージ上にフリンジパターン (等高線図)でオーバーラップさせて表示します。周波数をスウィープすることにより共振点の振動モードを容易に観察することができます。
また位相変調法を用いると、振動モード、変位モードをアニメーションや3Dプロットで表示することができるので、非常に優れた定量的および定性的な振動・変位解析を行うことができます。

特長
静的変形測定
下図は寸法3×3mmのシリコンメンブレンのガス圧力により変形されたときの 変位モードです。リアルタイムで測定物上にフリンジパターンをオーバーラップ し変位量が表示されるので、変位解析が簡単に確認できます。
測定感度は位 相変調法を使用することにより、約1nmに高めることができます。