LED式ウェーハアライメントセンサ HD-T1シリーズ

LED式ウェーハアライメントセンサ HD-T1シリーズの製品概要

安全なLED光でもレーザセンサ並みの高性能を実現。 高分解能30μm。【特長】・光源には安全な赤色LEDを採用していますので、煩わしい安全対策が一切不要。・レーザ光使用の際に必要な保護カバーや米国で使用する際に必要なFDA規格の取得も必要ありません。・センサヘッドとコントローラとの接続はワンタッチコネクタ式。・配線の工数が最小限で済み、メンテナンスもラクです。・消費電流は、センサヘッドと二ントローラ合わせて70mA以下。・光電センサ並みの低消費電力を実現しています。・赤色LED光源でありながらレーザセンサ並みの高性能を実現しましたので、高精度な検出が可能です。・投・受光部ー体型ですから、面倒な光軸調整は不要です。・また、検出距離および検出幅が30mmと広い工リアを力バーできますのでさまざまなサイズのウェーハに対応できます。・アナログ出力（1～5V）には、スパン調整機能に加えてアナログ電圧を±0.5Vの範囲でシフトできる便利なシフト調整機能を装備しました