ウェーハマッピングセンサ M-DW1

ウェーハマッピングセンサ M-DW1の製品概要

安全なLED光を採用した反射型ウェーハマッピングセンサ。【特長】・安全性に優れたLED式：レーザ光を使用した従来のレーザ式マッピングセンサは、レーザ光がロードボートの内側からFOUPを抜けてオペレータに当たるため危険でした。・M-DW1は、LEDを光源に使用することに成功。・これによりオペレータの安全性を確保しています。・窒化膜ウェーハの検出が可能：窒化膜は特定波長の光を吸収する性質があり、吸収される波長は窒化膜の膜厚などによって変化します。・そのため単波長のレーザ光を使用したセンサでは、光がすべて吸収されて検出不可能になる場合があります。・これに対して、LED光源には光の波長帯に幅があるため、窒化膜ウェーハでも確実に検出できます。・0.5msの高速応答：0.5msの高速応答を実現。・高速応答性と高精度を高次元で両立しています。・ガラスウェーハの検出も可能：M-DW1は、反射光の位置で検出するため、反射光量が多い少ないに関わらず能です。・ガラスウェーハの検出が可能です。