P-752 ｜ 高精度ピエゾステージ

高精度ピエゾステージの製品概要

静電容量センサーによる高リニアリティピエゾステージ

極めて精密なP-752シリーズは、最大位置決め／スキャニングレンジが35μm、超高速セットリングタイムと、直進性が非常に高いことが大きな特徴です。これらのステージは高速振動、およびディスクドライブ検査のアプリケーション用として特別に設計されました。直動式デザインによる高速応答本体質量を最小限にすることに細心の注意を払った直動式デザインの結果、支持構造における慣性による反動力を抑え、また、システム
全体の応答性、スループット、および安定性を高めることを可能にしました。例として、荷重300gで15μmステージのセットリングタイムが17msec（セットリング条件は0.1%）となり、これは他のシステムと比べてより高速で、かつ高精密です。P725ステージは、静電容量センサーを備えることにより、サブナノメートルの分解能と安定性を実現しています。PI独自の静電容量センサーは、物理的接触なしに、対象物の位置を直接測定します。摩擦やヒステリシスがなく、また、位置決めの分解能が1nmを下回るため、非常に高レベルのリニアリティが得られます。静電容量センサーによるダイレクト計測のさらなる利点は、優れた位相追従性と最
大10kHzという高周波数帯域です。

この製品の利用用途

● ディスクドライブ検査
● 各種計測
● ナノポジショニング
● 走査型顕微鏡
● フォトニクス／光集積回路
● 干渉計
● バイオテクノロジー
● マイクロマニピュレーション