P-733.2~P-733.3 ｜ 高速・高精度開口付ピエゾステージ

高速・高精度開口付ピエゾステージの製品概要

透過光アプリケーションに適した50×50mm・高精度XYステージ

P-733 XYおよびXYZピエゾステージは、高速かつ高精度のナノポジショニング／スキャニングシステムです。100×100（x10）μmの位置決め／スキャニング範囲を、サブナノメートルの分解能で実現し、静電容量セン
サーを利用したパラレル計測位置フィードバック機能により、多軸制御において優れたリニアリティと再現性を可能にしています。ガイド精度が高いため、全ストローク範囲において、振れを10nm未満に抑えています。さらに、P-733.3CDの高速Z軸は、XY軸動作の間、Z軸の面外偏差を動的に補正します。

この製品の利用用途

● 画像処理／安定化
● 走査型顕微鏡
● 表面形状解析
● 各種計測／干渉計
● バイオテクノロジー
● 半導体試験
● マスク／ウェハー位置決め
● マイクロマニピュレーション
● 高平坦度／直進度のナノ
ポジショニング